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近日，由宝山区企业费勉仪器牵头申报的国家重点研发计划基础科研条件与重大科学仪器设备重点专项项目“裂解源”获批立项，项目编号2022YFF0707600。
该国家重点研发计划重点专项项目以费勉仪器为牵头单位，联合东北大学、电子科技大学和中国科学院金属材料研究所，各方围绕裂解源研发关键问题进行课题分工，共同执行项目任务。
本项目立足于“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项下的“核心关键部件开发与应用”专题，开发裂解源关键部件，突破多温区独立控温、超高真空下突破热解氮化硼耐温极限的加热部件设计、超高真空下能预防材料沉积堵塞的阀门设计等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的部件产品，实现在分子束外延系统、原子层沉积设备和真空表面处理设备等仪器设备中的应用。
裂解方式灵活，材料利用率高
裂解源是分子束外延、原子层沉积和真空表面处理设备和工艺中的关键核心部件，在半导体技术领域，尤其是薄膜沉积领域，部分材料的生长工艺只能采用裂解源，高性能的气体裂解源也是解决化合物半导体界面问题的关键。相较于国外几十年的长期研发和产品迭代，国内化合物半导体产业在整机设备和裂解源等核心部件的技术水平落后于国外先进水平，长期依赖进口。要想实现在化合物半导体产业的突破，摆脱来自国外的限制，高性能裂解源的国产化是必须攻克的难关。
费勉仪器作为一家高新技术和科技小巨人培育企业，有着丰富的技术积累，并已发展出成熟的产品线。公司目前经营方向涵盖真空技术、低温技术、薄膜制备以及等离子技术四大板块。针对科研市场需求，公司采用了标准化的产品思路，为用户提供各种高性能的标准化产品模块和定制化整机系统。同时，针对国内产业界需求，公司也将先进技术推广到生产装备制造领域，由费勉仪器设计制造的“分子束外延装置”“激光巴条钝化装置”已经进入实际的生产场景，服务越来越多的客户，为国家产业升级战略贡献一份力量。
费勉仪器MBE-800
(来源：上海宝山)
